表面粗糙度測量方法

1、比較法

將表面粗糙度比較樣塊（簡稱樣塊）根據視覺和觸覺與被測表面比較，判斷被測表面粗糙度相當于那一數值，或測量其反射光強變化來評定表面粗糙度（見激光測長技術）。樣塊是一套具有平面或圓柱表面的金屬塊，表面經磨、車、鏜、銑、刨等切削加工，電鑄或其他鑄造工藝等加工而具有不同的表面粗糙度。有時可直接從工件中選出樣品經過測量并評定合格后作為樣塊。利用樣塊根據視覺和觸覺評定表面粗糙度的方法雖然簡便，但會受到主觀因素影響，常不能得出正確的表面粗糙度數值。

2、印模法

在實際測量中，常會遇到深孔，盲孔，凹槽，內螺紋等既不能使用儀器直接測量，也不能使用樣板比較的表面，這是常用印模法，印摸法是利用一些無流動性和彈性的塑性材料（如石蠟等）貼合在 被測表面上，將被測表面的輪廓復制成模，然后測量印模，從而來評定被測表面的粗糙度。

3、觸針法

利用針尖曲率半徑為2微米左右的金剛石觸針沿被測表面緩慢滑行，金剛石觸針的上下位移量由電學式長度傳感器轉換為電信號，經放大、濾波、計算后由顯示儀表指示出表面粗糙度數值，也可用記錄器記錄被測截面輪廓曲線。
一般將僅能顯示表面粗糙度數值的測量工具稱為表面粗糙度測量儀，同時能記錄表面輪廓曲線的稱為表面粗糙度輪廓儀這兩種測量工具都有電子計算電路或電子計算機，它能自動計算出輪廓算術平均偏差Rα，微觀不平度十點高度RZ，輪廓最大高度Ry和其他多種評定參數，測量效率高，適用于測量Rα為0.025~6.3微米的表面粗糙度。

4、干涉法

利用光波干涉原理 （見平晶、激光測長技術）將被測表面的形狀誤差以干涉條紋圖形顯示出來，并利用放大倍數高 （可達500倍）的顯微鏡將這些干涉條紋的微觀部分放大后進行測量，以得出被測表面粗糙度。
應用此法的表面粗糙度測量工具稱為干涉顯微鏡。這種方法適用于測量Rz和Ry為 0.025~0.8微米的表面粗糙度。

5、光切法

光線通過狹縫后形成的光帶投射到被測表面上，以它與被測表面的交線所形成的輪廓曲線來測量表面粗糙度。由光源射出的光經聚光鏡、狹縫、物鏡1后，以45°的傾斜角將狹縫投影到被測表面，形成被測表面的截面輪廓圖形，然后通過物鏡 2將此圖形放大后投射到分劃板上。
利用測微目鏡和讀數鼓輪先讀出h值，計算后得到H值。應用此法的表面粗糙度測量工具稱為光切顯微鏡。它適用于測量RZ和Ry為0.8~100微米的表面粗糙度，需要人工取點，測量效率低。