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我國首次建立納米級角度國家一級標準物質

2024年10月8日,市場監管總局公告新批準二維鉻納米柵格標準物質、二維硅納米柵格標準物質、一維硅納米光柵標準物質3項國家一級標準物質,能夠同時滿足納米制造產業角度和長度校準需求,為新一代信息技術、新材料、生物制造、高端裝備等領域的納米制造提供精準“標尺”。

納米制造,測量先行。研制高精度的納米級標準物質,是打造高準確度納米測量傳遞鏈,提升國產納米制造產品質量可靠性的關鍵。標準物質研制單位同濟大學相關專家介紹,二維鉻納米柵格標準物質突破性地采用分步沉積原子光刻技術,制備難度較大,可直接溯源到自然界量子化物理常數(鉻原子躍遷頻率),角度絕對準確性在0.001°量級,相當于把一個蛋糕按扇形均分成三十六萬份。二維鉻納米柵格的結構面積一般為300μm×300μm,在沒有劃傷或破壞的狀況下,每次使用2μm×2μm,不重復使用測量區域次數可達20000次以上。可應用于晶圓級原子力顯微鏡、掃描電子顯微鏡等集成電路微納檢測設備校準,也可應用于對超精密位移傳感器多種參數的光柵干涉法校準。

納米級角度標準物質的研制成功,實現了納米測量領域的扁平化計量,避免傳統逐級量值傳遞方式造成的誤差累積放大,能夠通過在線校準直接將高精度計量數據直接傳遞到企業計量現場,為我國納米制造產業高質量發展提供有力支撐。

下一步,市場監管總局將持續強化納米測量領域標準物質研制應用,進一步解決納米制造“測不了、測不全、測不準”問題,為筑牢新興產業和未來產業技術基礎提供支撐保障。


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